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              設備展示

              shebeizhanshi

              藍寶石909

              外型尺寸2.5*2.3*3.0米
              有效鍍膜空間960*950毫米
              抽氣系統分子泵+機械泵
              電源

              80KW,380V,50HZ,5PHASE

              偏壓高頻脈沖電源
              靶源數

              4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3

              控制系統可編程控制器+電腦
              鍍膜工藝溫度80~250度
              典型涂層濺射TiN氮化鈦,濺射CrN氮化鉻,DLC類金剛石等等單層,復合,納米涂層


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