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              設備展示
              
                
              shebeizhanshi
              
            
              
        
              
    
              

              

              
    
              
        
              
            
              
                
              
                    
                
              
                
              
                    
              藍寶石909
              
                    
              
                        
              外型尺寸2.5*2.3*3.0米
              有效鍍膜空間960*950毫米
              抽氣系統分子泵+機械泵
              電源
              80KW,380V,50HZ,5PHASE
              偏壓高頻脈沖電源
              靶源數
              4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3
              控制系統可編程控制器+電腦
              鍍膜工藝溫度80～250度
              典型涂層濺射TiN氮化鈦，濺射CrN氮化鉻，DLC類金剛石等等單層，復合，納米涂層

                                  
              
                
              
                
              
            
              
            
              
        
              
    
              

              







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